半導体ドライエッチング技術 / 徳山巍編著
ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
(集積回路プロセス技術シリーズ)
| Publisher | 東京 : 産業図書 |
|---|---|
| Year | 1992.10 |
| Authors | 徳山, 巍(1929-) <トクヤマ, タカシ> |
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| Location | Volume | Call No. | Barcode No. | Status | Comments | ISBN | Printed | Restriction | Reserve |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Library Main Building 3rd fl. (Books in Japanese) |
|
5400:816 | 111002444H |
|
9784782856284 | 2009.2 |
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