はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
(ビギナーズブックス ; 29)
| Publisher | 東京 : 工業調査会 |
|---|---|
| Year | 2003.6 |
| Authors | 岡崎, 信次 <オカザキ, シンジ> 鈴木, 章義 <スズキ, アキヨシ> 上野, 巧 <ウエノ, タクミ> |
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| Location | Volume | Call No. | Barcode No. | Status | Comments | ISBN | Printed | Restriction | Reserve |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Library Main Building 3rd fl. (Books in Japanese) |
|
5400:801 | 110905537V |
|
4769312245 | 2008.6 |
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| Material Type | Books |
|---|---|
| Size | 305p : 挿図 ; 21cm |
| Subjects | BSH:リソグラフィー BSH:半導体 |
| Classification | NDC8:549.7 NDC9:549.7 |
| Language | Japanese |
| ID | 1000264585 |
| ISBN | 4769312245 |
| NCID |
BA62674459 
|
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