電子線リソグラフィ教本 / 秋永広幸編
デンシセン リソグラフィ キョウホン
| Publisher | 東京 : オーム社 |
|---|---|
| Year | 2007.6 |
| Authors | 秋永, 広幸 <アキナガ, ヒロユキ> 横山, 浩 <ヨコヤマ, ヒロシ> |
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| Location | Volume | Call No. | Barcode No. | Status | Comments | ISBN | Printed | Restriction | Reserve |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Library Main Building 3rd fl. (Books in Japanese) |
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5400:818 | 111002469O |
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9784274204159 |
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